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Handbook of Thin Film Deposition Techniques Principles, Methods, Equipment and Applications, Second Editon (Seshan, Krishna)
Handbook of Thin Film Deposition Techniques Principles, Methods, Equipment and Applications, Second Editon
Autor Seshan, Krishna
Verlag William Andrew Publishing
Sprache Englisch
Einband Fester Einband
Erscheinungsjahr 2002
Seiten 658 S.
Artikelnummer 26585874
ISBN 978-0-8155-1442-8
CHF 666.00
Zusammenfassung
Suitable for engineers, technicians, and plant personnel in the semiconductor and related industries, this book traces the technology behind the spectacular growth in the silicon semiconductor industry and the continued trend in miniaturization.
Krishna Seshan