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Microsystem Technology (Menz, Wolfgang / Mohr, Jürgen / Paul, Oliver)
Microsystem Technology
Autor Menz, Wolfgang / Mohr, Jürgen / Paul, Oliver
Verlag Wiley-VCH
Sprache Englisch
Mediaform PDF
Erscheinungsjahr 2008
Artikelnummer 13895949
Verlagsartikelnummer 1161301 000
ISBN 978-3-527-61301-4
Auflage 08001 A. 1. Auflage
Plattform PDF
Kopierschutz DRM Adobe
CHF 270.00
Zusammenfassung
This completely revised edition of a bestselling concise introduction to microsystems technology includes the latest trends in this emerging scientific discipline. The chapters on silicium and LIGA technology are greatly expanded, whilst new topics include application aspects in medicine and health technology, lithography and electroplating.
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Wolfgang Menz is the author of Microsystem Technology, published by Wiley.

Jürgen Mohr is the author of Microsystem Technology, published by Wiley.

Oliver Paul is the author of Microsystem Technology, published by Wiley.